概要介绍

SECS/GEM 确定了半导体、电子和光伏行业常用的通信接口类型，该接口已由非营利性行业协会 SEMI 标准化。SECS 是半导体设备通信标准的首字母缩略词。GEM 是指 SEMI E30 标准，它使用 SEMI E5标准中定义的消息类型的子集来描述设备行为和通信的通用模型。

方案分为主机端和设备端方案，主机端为设备管理端，采集和控制着设备。 设备端是把设备运行中各种状态、事件、警报等数据告知主机端。设备端方案：